ПОДЛОЖКИ SiC/Si

Компанией НТЦ-НТ разработана методика для производства тонких слоёв SiC на подложках Si диаметром до 6 дюймов.
По запросу возможно мелкосерийное производство.
Диаметр 2,4,6 дюймов
Политип 3С,6H
Шероховатость < 2nm
Толщина слоя SiC 70-200нм
Однородность по толщине 10-15%